探針冷熱臺(tái)允許用戶同時(shí)進(jìn)行溫控和樣品探針電測(cè)試,有多種探針供選,并有真空/氣密腔、從外部移動(dòng)探針等可選功能。本設(shè)備是通過杠桿式支架,使用的是彎針探針。相比傳統(tǒng)的直針探針,這種設(shè)計(jì)不僅點(diǎn)針更準(zhǔn)確,而且點(diǎn)針力度更大,和樣品的電接觸性更好。
樣品放置在載物片上,載物片直接放置在拋光的加熱元件上且可以進(jìn)行15mm的X、Y方向移動(dòng)。樣品腔室是氣密的,氣體閥可以控制腔室內(nèi)的環(huán)境,即惰性氣體或濕度。為了減小樣品上的溫度梯度,加熱臺(tái)上的光孔只有2.5mm。探針冷熱臺(tái)溫度由獨(dú)立的溫度控制器進(jìn)行控制,速率設(shè)定從0.1到50°C/min。
接下來讓我們來了解一下探針冷熱臺(tái)的優(yōu)勢(shì)有哪些?
1.高速加熱與冷卻方式
高能量的紅外燈和鍍金反射方式允許高速加熱到高溫。同時(shí)爐體可配置水冷系統(tǒng),增設(shè)氣體冷卻裝置,可實(shí)現(xiàn)快速冷卻。
2.溫度高精度控制
近紅外鍍金聚焦?fàn)t和溫度控制器的組合使用,可以精確控制樣品的溫度(遠(yuǎn)比普通加溫方式)。此外,冷卻速度和保持在任何溫度下可提供高精度。
3.不同環(huán)境下的加熱與冷卻
加熱/冷卻可用真空、氣氛環(huán)境、低溫(高純度惰性氣體靜態(tài)或流動(dòng)),操作簡(jiǎn)單,使用石英玻璃制成。紅外線可傳送到加熱/冷卻室。
探針冷熱臺(tái)可單獨(dú)使用,也可搭配顯微鏡/光譜儀使用。其可在-190°C~600°C范圍內(nèi)控溫,同時(shí)允許探針電測(cè)試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺(tái)上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)氣密腔,可往內(nèi)充入氮?dú)獾缺Wo(hù)氣體,來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜,或高溫下氧化。
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